SA25_4軸大氣5片晶圓搬運機器人

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產(chǎn)品描述
4軸大氣5片晶圓搬運機器人
SA25_SA系列半導(dǎo)體機器人
- ● 采用閉環(huán)伺服控制
- ● 可選配免電池絕對式編碼器
- ● 可根據(jù)設(shè)備布局定制底座和伸展軸行程
- ● 末端執(zhí)?器類型:下托式
臂長
250mm
額定/最大負(fù)載
5晶圓
搬運物
Φ100~Φ300mm晶圓

關(guān)鍵詞:
新時達(dá)眾為興SA25_4軸大氣5片晶圓搬運機器人
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